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- 硅 盘

产品描述

采用直拉法拉制的大尺寸高纯度单晶系列产品,主要用于晶圆加工时刻蚀工艺中使用的极关键材料。提供满足客户要求的不同尺寸、电阻率的硅棒形态单晶产品。

产品用途

晶圆刻蚀用上电极用加工原材料。

 

 

 

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产品描述

采用直拉法拉制的大尺寸高纯度单晶系列产品,主要用于晶圆加工时刻蚀工艺中使用的极关键材料。提供满足客户要求的不同尺寸、电阻率的硅棒形态单晶产品。

产品用途

晶圆刻蚀用上电极用加工原材料。

技术参数

直径mm

型号/晶向

纯度

电阻率(Ω.cm)

厚度

φ200-φ475

P/<100>/<111>

接近11N

≤0.01

客户定制

1-4

60-90

客户定制

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