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- 碳化硅产品

● 硅基半导体、化合物半导体、第三代半导体等领域
● EPI , PVD/CVD , RTP , etc
● 多制程核心耗材零部件

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参数
产品类别 应用行业 工艺制程 产品
 石墨基-SiC 硅基半导体 硅外延
光电 MOCVD
块体沉积-Sic 硅基半导体 刻蚀
烧结体-SiC  硅基半导体 炉管等
三代半导体 碳化硅外延
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