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参数

 

部件 尺寸 年产能
电极 OD320-450mm Thickness10-25mm 15000
OD320-450mm
Thickness10-25mm
C-Shroud OD530
Thickness:30-65mm
3600
Outer Ring OD350-450
Thickness:10-25mm
12000
Focus Ring OD320
Thickness: 3-7mm
18000
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